| ■ 半導体システム開発 ■ | |
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弊社の半導体システム開発は半導体製造装置メーカーを顧客としたシステム開発を長年にわたって行ってまいりました。特に、製造装置にインプリメントするユーザーインターフェース開発や半導体製造装置オンライン手順であるSECS/HSMS/GEMなどの実装には豊富な経験と実績を持っています。また、半導体製造工場の個別仕様のコンサルタント、群管理システム、レシピエディタや各種分析ツール等の開発も行っています。 |
| ■ 開発実績 ■ | |
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主たる開発実績は以下の通りです。
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