半導体システム

半導体システム開発の概要

搬送システム
半導体システム開発は半導体製造装置メーカーからの依頼により長年にわたって装置関連のシステム開発を行ってまいりました。特に、製造装置にインプリメントするUI開発や半導体製造装置オンライン手順であるSECS/HSMS/GEMなどの実装には豊富な経験と実績を持っています。また、半導体製造工場の個別仕様のコンサルタント、生産管理システム、レシピエディタやツール、システムの保守も行っています。

開発実績

主たる開発実績は以下の通りです。

  • 半導体製造装置生産管理システム
  • SECS/HSMS/GEM手順の装置へのインプリメント
  • レシピエディタ
  • プロトコルコンバータシステム
  • チップハンドラシステム
  • 半導体製造装置コントローラ
  • 海外製造装置インプリメント・カスタマイズ
  • アラームログ・統計解析等のツール開発
  • 半導体製造装置システム保守

主たる顧客

生産管理システム